實現微位移的方案比較多,用途很廣泛,應根據不同的用途,合理選取不同的方案。設計原則為,滿足微位移行程及分辨率,經濟合理;結構緊湊。作為微動補償的微動工作臺,除滿足上述要求外,還應具有良***的靜、動態特性精密微動工作臺的設計要求

　　作為理想的精密微動工作臺,應滿足下列要求:

　　1)微動工作臺的支承或導軌副應無機被摩擦和無間隙,具有高的位移分辨率和高的定位精度和重復精度,滿足工作行程要求。

　　2)微動工作臺本身應具有高的幾何精度,即顛擺、滾擺和搖擦誤差小,同時穩定可靠。

　　3)微動工作臺應具有較高的固有頻率,以保證良***的動態特性和抗干擾能力,即******采用直接驅動方式,無傳動環節。

　　4)微動系統便于控制,而且響應速度快。