光刻加工又稱光刻蝕加工或刻蝕加工,簡稱刻蝕。當前,光刻加工技術主要用于制作集成電路、微型機械等高精度微細線條所構成的高密度微細復雜圖形,是納米加工的一種重要加工手段，用于金屬表面拋光機拋光。光刻加工的原理近似于照像制版,其關鍵技術是原版?zhèn)茸鳌⑵毓夂涂涛g。光刻加工可分為兩個階段,**階段為原版制作,生成徽細復雜圖形的工作原版或工作掩膜,為光刻加工時用;第二階段為光刻。