超精密磨削是近年來發(fā)展起來的***高加工精度、***低表面粗糙度的砂輪磨削方法,一般是指加工精度達(dá)到或高于0.1pm,表面粗糙度低于0.025m,是一種亞微米級(jí)、納米級(jí)的砂輪磨削加工方法。超精密磨削的形成和發(fā)展遠(yuǎn)比超精密金剛石刀具車削和銳削要緩慢得多,金剛石刀具超精密切削技術(shù)的研究比較成熟,它目前主要是用于加工鋼、鋁及其合金等軟金屬,不宜切削鋼、鐵,淬火件和陶瓷、玻璃、半導(dǎo)體等硬脆材料。金剛石刀具在切削鐵碳合金時(shí),切削所產(chǎn)生的局部高溫使金剛石中的碳原子很容易擴(kuò)散到鐵素體中面造成金剛石的碳化磨損,又稱擴(kuò)散磨損;金剛石刀具在切削淬火件時(shí),由于淬火件硬度高,易造成崩刃和刃口磨損。同樣,在微量切削陶瓷、玻璃、半導(dǎo)體時(shí),剪切應(yīng)力很大,臨界剪切能量密度也很大,切削刃處的高溫和高應(yīng)力使刃口產(chǎn)生較大的機(jī)械磨損。雖然,目前正在進(jìn)行一些研究工作,如尋求在種保護(hù)氣氛下或在低溫下,用金剛石刀具切削鋼、鑄鐵材料;探尋金剛石刀具在切削脆硬材料時(shí),從脆性轉(zhuǎn)變?yōu)樗苄缘呐R界切削速度等切削時(shí)空條件等,但超精密磨削顯然是一種重要的有前途的超精密加工方法,特別是超硬磨料微粉砂輪超精密磨削更顯示了它的生命力。近年來,超精密磨削的發(fā)展很快,出現(xiàn)了一些與超精密磨削有關(guān)的磨削加工,如鏡面磨削、微細(xì)磨削、高速磨削等。

　　鏡面拋光機(jī)磨削一般是指加工表面粗糙度達(dá)到R2002~0.01m,表面光澤如鏡的磨削方法,它在加工精度的含義上不夠明確,比較強(qiáng)調(diào)了表面粗糙度的要求,從精度、表面粗糙度和表面層力學(xué)和物理性質(zhì)的相應(yīng)性、統(tǒng)一性來分析和理解,應(yīng)該認(rèn)為鏡面磨削是屬于精密磨削和超精密磨削范疇,它是一種生動(dòng)的俗稱。

　　微細(xì)磨削也是屬于精密磨削和超精密磨削范疇,它強(qiáng)調(diào)了加工微小零件上的徵小尺寸,砂輪的直徑顯然很小,要達(dá)到理想的磨削效果,砂輪的速度要很高,通常,微細(xì)磨削除外圓、平面磨削外,突出了小尺寸的內(nèi)圓磨削。

　　高速磨削的特點(diǎn)顯然是高速和超高速,由于高速要求砂輪主軸的高精度、高剛度、高平穩(wěn)性,以及整個(gè)機(jī)床及其各部件都應(yīng)滿足高速磨削的要求,因此,高速磨削也是可用于精密磨削和超精密磨削的加工方法。