鑄件、鍛件和熱處理件中存在內應力,機械加工件也或多或少地存在內應力,這些殘留于工件內部的應力都會引起變形。一般講,殘余應力越低,工件的變形就越小,零件加工精度越高;工件熱處理后組織越穩定,服役期間的組織變化越小,工件內的應力變化也越小,服役期的精度也就越能長久保持。必須采用不同的熱處理工藝,降低工件的殘余應力和穩定組織,以達到精密拋光機加工件的精度要求。常用的方法是去除應力退火和冷處理。
 
　　由于合金工具鋼、軸承鋼等鋼淬火冷卻后,組織中除了馬氏體外,還有較多的殘余奧氏體。如 CrWMn鋼(合金工具鋼)淬火后約有15%(體積分數)的殘余奧氏體,這不僅降低了淬火鋼的硬度和耐磨性,而且在使用過程中殘余奧氏體要發生轉變,故會引起零件尺寸形狀的變化。這對尺寸精度要求高的零件,如量具、精密絲杠等是極為不利的。為了消除殘余奧氏體,生產上常采用冷處理。冷處理必須在摔火后立即進行。
 
　　冷處理是把淬火冷卻到室溫的零件,再放入零度以下的某種介質如-80℃干冰)中繼續冷卻使殘余奧氏體轉變為馬氏體。
 
　　冷處理后還須進行回火對于高合金鋼為了防止開裂和變形冷處理和回火可以交替進行。