超精密磨削是近年來發展起來的最高加工精度、最低表面粗糙度的砂輪磨削方法,一般是指加工精度達到或高于0.1pm,表面粗糙度低于0.025m,是一種亞微米級、納米級的砂輪磨削加工方法。超精密磨削的形成和發展遠比超精密金剛石刀具車削和銳削要緩慢得多,金剛石刀具超精密切削技術的研究比較成熟,它目前主要是用于加工鋼、鋁及其合金等軟金屬,不宜切削鋼、鐵,淬火件和陶瓷、玻璃、半導體等硬脆材料。金剛石刀具在切削鐵碳合金時,切削所產生的局部高溫使金剛石中的碳原子很容易擴散到鐵素體中面造成金剛石的碳化磨損,又稱擴散磨損;金剛石刀具在切削淬火件時,由于淬火件硬度高,易造成崩刃和刃口磨損。同樣,在微量切削陶瓷、玻璃、半導體時,剪切應力很大,臨界剪切能量密度也很大,切削刃處的高溫和高應力使刃口產生較大的機械磨損。雖然,目前正在進行一些研究工作,如尋求在種保護氣氛下或在低溫下,用金剛石刀具切削鋼、鑄鐵材料;探尋金剛石刀具在切削脆硬材料時,從脆性轉變為塑性的臨界切削速度等切削時空條件等,但超精密磨削顯然是一種重要的有前途的超精密加工方法,特別是超硬磨料微粉砂輪超精密磨削更顯示了它的生命力。近年來,超精密磨削的發展很快,出現了一些與超精密磨削有關的磨削加工,如鏡面磨削、微細磨削、高速磨削等。

　　鏡面拋光機磨削一般是指加工表面粗糙度達到R2002~0.01m,表面光澤如鏡的磨削方法,它在加工精度的含義上不夠明確,比較強調了表面粗糙度的要求,從精度、表面粗糙度和表面層力學和物理性質的相應性、統一性來分析和理解,應該認為鏡面磨削是屬于精密磨削和超精密磨削范疇,它是一種生動的俗稱。

　　微細磨削也是屬于精密磨削和超精密磨削范疇,它強調了加工微小零件上的徵小尺寸,砂輪的直徑顯然很小,要達到理想的磨削效果,砂輪的速度要很高,通常,微細磨削除外圓、平面磨削外,突出了小尺寸的內圓磨削。

　　高速磨削的特點顯然是高速和超高速,由于高速要求砂輪主軸的高精度、高剛度、高平穩性,以及整個機床及其各部件都應滿足高速磨削的要求,因此,高速磨削也是可用于精密磨削和超精密磨削的加工方法。