此項誤差來源是指被測件或儀器元件在測量過程中受力產(chǎn)生彈性變形而引起的測量誤差。具體地說,有以下幾種情況

　　(1)壓陷量差值儀器調(diào)零位時,測量頭對工作臺(絕對測量時)或?qū)鶞始?相對測量時)表面的壓陷量與測量時對工作表面的壓陷量之間的差值,將造成測量誤差。壓陷量W的大小,與測量力、接觸方式、接觸面的材料、接觸件的尺寸等因素有關。

　　(2)儀器構件變形在有測量力的情況下,儀器的框架及有關構件會產(chǎn)生彈性變形。如果調(diào)零時和測量時的變形量有差值,則造成測量誤差。這種誤差可通過試驗法測定變形量而求。

　　顯然,保持調(diào)零時與測量時的測量力穩(wěn)定,是消除或減小該項誤差的主要途徑。

　　(3)被測件自重變形對于剛度弱的細長被測件而言,除了因測量力引起的變形外,其本身自重所造成的彎曲變形也會導致不可忽略的測量誤差。

　　為了減小此項誤差,根據(jù)材料力學的理論,正確地選擇支承點的位量,以適應不同的要求是很重要的。除了合理選定支承點位置外還可使用可調(diào)節(jié)的輔助支承,以減速小變形。