從去毛刺拋光設備的加工方法的機理來分類，精密加工和超精密加工又可分為傳統加工、非傳統加工和復合加工。傳統加工是指刀具切削加工、固結磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統加工是指利用機械能、光能、電能、聲能、磁能、化學能、核能等對材料進行處理和加工的特種加工方法；復合加工是采用多種加工方法的復合作用，其中包括傳統加工與非傳統加工的復合、傳統加工與傳統加工的復合，非傳統加工與非傳統加工的復合，進行***勢互補，相輔相成。目前，在制造業中，占主要地位的仍是傳統加工方法，而非傳統加工和復合加工是極其重要的發展方向。表0-3列出了按刀具切削加工、磨料加工、特種加工、復合加工分類的各種常用的精密加工和超精密加工方法，其所用工具、所能達到的精度和表面粗糙度、被加工材料以及應用。