超精加工又稱超精研加工,是采用細粒度的油石在一定的壓力和切削速度下作往復運動,對工件表面進行光整加工的方法,屬固結磨粒壓力進給加工。超精加工能降低加工表畫粗鍵度值,特別是鏡面加工,比珩磨或高速磨削的效率高。但保證零件的尺寸誤差和幾何形狀誤差的作用較差,零件的加工精度主要靠前道工序保證。超精加工的表面幾乎不產生變質層,并使工件表面層具有殘余壓應力,從而提高了零件的接觸疲勞強度。
 

　　超精加工具有設備簡單、操作方便、效果顯著、經濟性***等***點,可用來加工內燃機曲軸、凸輪軸、活塞、活塞銷等零件,能對各種材料,如鋼、鑄鐵、黃銅、磷青鋼、鋁、陶瓷、玻璃、花崗巖、硅和儲等進行加工,并能加工外圓、平面、內孔、錐面及各種曲面。近年來超精加工在航空、航天、大規模集成電路、精密儀器和精密量具制造中得到越來越廣泛的應用。