超精密加工的關(guān)鍵是能夠在被加工表面上進(jìn)行微量加工，其加工量的大小標(biāo)志著精密加工和超精密加工的水平。

　　當(dāng)前，對(duì)于精密切削和超精密切削主要以金剛石刀具超精密車(chē)削和金剛石微粉砂輪超精密磨削為代表，主要是微量切削，又稱極薄切削，如果能切除一個(gè)納米(1mm)，則其切削水平可達(dá)納米級(jí)，如果能切除一個(gè)分子、一個(gè)原子，則其水平可達(dá)分子級(jí)、原子級(jí)。當(dāng)然，這需要超精密車(chē)床和超精密磨床，鋒利的刀具和砂輪，其中，金剛石刀具刃口鈍圓半徑值就非常重要，對(duì)于納米級(jí)切削，刃口鈍圓半徑應(yīng)為2nm，而金剛石徽粉砂輪的金剛石顆粒大小應(yīng)為0.5~2pm，甚至更小，并應(yīng)有高精度的在線砂輪修整裝置。

　　微量切削的機(jī)理與一般切削是有很大差別的，因?yàn)檫@時(shí)的切屑厚度極小，背吃刀量(切削深度)可能小于晶粒的大小，切削就在晶粒內(nèi)進(jìn)行，因此，切削不是在晶粒之間的破壞，切削力一定要超過(guò)晶體內(nèi)部非常大的原子、分子結(jié)合力，刀刃上所承受的切應(yīng)力就急速地增加并變得非常大。如在切削低碳鋼的情況下；刀刃上的切應(yīng)力值接近材料的抗剪強(qiáng)度極限，當(dāng)切削厚度在1um以下時(shí)， 被切材料的切應(yīng)力可達(dá)13000MPa。刀刃在受到很大應(yīng)力的同時(shí)， 切削區(qū)會(huì)產(chǎn)生很大的熱量，刀刃切削處的溫度會(huì)很高，要求刀具材料應(yīng)有很高的高溫強(qiáng)度和高溫硬度。因此，只有超硬刀具材料，如金剛石、立方氮化硼等才能勝任。金剛石刀具不僅有很高的高溫強(qiáng)度和高溫硬度，而且由于金剛石材料本身質(zhì)地細(xì)密，經(jīng)過(guò)精密研磨或精密電火花加工，不僅幾何形狀***，切削刃鈍圓半徑很小，通?？蛇_(dá)0.02~0.005pm，***高可達(dá)2nm，而且表面粗糙度也很低，是極薄切削的刀具理想材料。