在超精密機床中,高精度微量進給裝置上夾固金剛石刀具,用于刀具微量調整,要求實現精確、穩定、可靠的微位移(有時還要求實現快速微位移),以保證零件尺寸精度。如在超精密磨削中,砂輪的進給量要求達到百分之幾微米;在超糖密車削中,金剛石刀具的切深微調也要保證亞微米級的精度。
 

　　微量進給機構也用于超精密機床微量在線誤差補償,位移分辨力要求達千分之幾微米。因此一個***的精密和超精密微位移機構應滿足下列設計要求。
 

　　1)精微進給和粗進給應分開,以提高微位移的精度、分辨力和穩定性。
 

　　2)運動部分必須是低摩擦和高穩定度的,以便實現很高的重復精度。
 

　　3)末級傳動元件必須有很高的剛度,即夾固金剛石刀具處必須是高剛度的。
 

　　4)徽量進給機構內部各連接處必須是可靠連接,連接間隙極小,在可能時盡量采用剛性連接,否則這微量進給機構很難實現很高的重復精度。
 

　　5)工藝性***,容易制造。例如要實現001}m的進給,微量進給機構本身各元件的精度,應是能夠制造的精度。
 

　　6)在要求快速微位移時(如用于隨機誤差補償),微量進給機構應具有***的動特性,即具有高的頻響。
 

　　7)微量進給機構應能實現微進給的自動控制。
 

　　現在用的微量進給裝置有多種結構形式,其工作原理也各不相同,歸納起來有下面6種類型:機械傳動或液壓傳動式;彈性變形式;熱變形式;流體膜變形式;磁致伸縮式;壓電陶瓷式。根據精密和超精密微量進給裝置的要求,上述6種類型中,僅有彈性變形式和壓電陶瓷式微量進給機構比較適用并比較成熟。下面介紹這兩種典型的微量進給裝置。