超精密拋光機的加工精度遠遠高于普通機床的加工精度。如拋光機的定位精度,普通鏜床為0.02mm,糟密鏜床為0.002~0.005mm,超精密機床為0.01m。超精密拋光機之所以能達到如此高的精度,主要是從設計、制造及使用維護等方面采取了一系列措施。
 

　　(1)結構設計　在進行設計時,對精密拋光機的結構,特別是對其總體布局、主運動部件進給運動部件,要充分考慮到熱、力等因素的作用。應采取相應的措施減小機床內部的發熱量和熱變形,提高拋光機的剛度和抗振性,減少唐損及其對精度的影響,并且盡可能縮短內聯系傳動鏈,提高內聯系傳動副的傳動精度。
 

　　(2)技術要求　應提高主要零件的幾何精度和降低表面粗糙度,確保制造質量。其中又以提高主軸部件、導軌、絲杠、分度蝸輪副以及某些傳動齒輪的幾何精度為主,因為這對提高機床加工精度***為直接。
 

　　(3)制造

　　1)超精密拋光機關鍵零件的加工和裝配,應在恒溫條件下進行。

　　2)超精密拋光機的主要零件,往往要經過多次時效處理,以***大限度地減少內應力影響。經時效處理后的零件,在超精加工時能達到較高而穩定的精度。

　　3)高糟度的測量儀器和先進的測量方法是獲得高精度的必要手段。對于超精密機床的一些零件,測量用的儀器,其精度都高于工件制造精度。這樣才能保證零件的尺寸精度及形狀位置精度。

　　4)在超精密機床上,往往采用一些特殊裝置。例如,誤差補償裝置、變形補償裝置、間歇補償裝置等,以提高加工精度。
 

　　(4)使用　超精密加工必須在穩定的加工環境條件下使用。穩定的加工環境條件主要是指溫度、濕度、凈化和防振四個方面的條件。