水合拋光是利用在工件界面上產生的水合反應的新型高效、超精密拋光方法。其主要特點是不使用磨粒和加工液,而加工裝置又與當前使用的拋光機相似,只是在水燕氣環境中進行加工。因此,要盡量避免使用能與工件產生固相反應的材料作拋光盤。在普通拋光機上,給拋光工件的部位加上耐熱材料罩,使工件在過熱水燕氣介質中進行拋光。通過加熱,可調節水蒸氣介質的溫度。隨著拋光盤的旋轉,工件保持架在它上邊作往復運動。

　　在水合拋光過程中,兩個物體產生相對摩擦,在接觸區產生高溫高壓,工件表面上的原子或分子呈活性化。利用過熱水燕氣分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化層。借助過熱水蒸氣(不是用游離磨粒)或在一個大氣壓的水蒸氣環境條件下利用外來的摩擦力從工件表面上將該水合化層分離、去除,去除量(厚度)為零點幾個納米,所以可獲得無劃痕、平滑光澤無略變的潔凈面。