(1)微動(dòng)工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)形式

　　1)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)械式縮小方法如彈性機(jī)構(gòu)。杠桿、楔塊、絲杠等,可采用手動(dòng)驅(qū)動(dòng)方法用于微調(diào),微進(jìn)給等,這些機(jī)構(gòu)往往是一次性的調(diào)整或非自動(dòng)控制的場(chǎng)合,特點(diǎn)是:成本低,操作簡(jiǎn)便,但結(jié)構(gòu)比較大。用于要求不高的機(jī)構(gòu)

　　2)電動(dòng)驅(qū)動(dòng)利用各種物理方法產(chǎn)生的微位移,如壓電式、電致伸縮、電磁式等和部分機(jī)械式,采用電驅(qū)動(dòng)方法。用于各種自動(dòng)控制的場(chǎng)合。其特點(diǎn)是:分辨力高、精度高、成本

　　(2)微動(dòng)工作臺(tái)的控制方式實(shí)現(xiàn)高精度的定位,要有高精度的檢測(cè)裝置,如激光干涉儀、光衢定位系統(tǒng)等,與微動(dòng)工作臺(tái)組成閉環(huán)控制。目前,微機(jī)已很成熟,在要求較高的場(chǎng)合,均采用微機(jī)數(shù)字閉環(huán)控制。