盡管化學(xué)拋光已卓有成效地應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)研究和工業(yè)生產(chǎn)中，但目前還沒(méi)有眾所公認(rèn)的化學(xué)拋光的理論，研究化學(xué)拋光過(guò)程機(jī)理的論著也十分稀少。部分研究者堅(jiān)持提出的用來(lái)解釋電拋光機(jī)理的黏性液膜理論，另一部分人則認(rèn)為鈍化膜在化學(xué)拋光中起著重要作用，還有人用拋光過(guò)程中可能產(chǎn)生的“氣液膜”來(lái)解釋拋光作用的機(jī)理。由于人們對(duì)化學(xué)拋光研究的深度與廣度均不夠充分，因此以下歸納的幾種理論大多限于定性的說(shuō)明。

 

黏液膜理論的代表認(rèn)為，化學(xué)拋光像電拋光一樣，是基于被拋光試片的表面上。凸起的峰處的化學(xué)活性較高，它將被優(yōu)先溶解，溶解出來(lái)的金屬離子在表面不斷積累，便與溶液中的配體形成了一層黏性液體膜，這層薄膜在凹洼深谷處比在凸起的高峰處更為厚些。因而，隨后拋光液對(duì)凸起的峰處的溶解仍將比凹洼的深谷處為劇烈，所以凸起處被迅速削平，表面被整平了。

 

拋光液中含有黏度大的磷酸、甘油以及聚乙二醇或聚乙烯醇時(shí)，黏性液體膜很容易生成，因此拋光效果會(huì)更好。這是因?yàn)槿芙庀聛?lái)的金屬離子在此條件下難以擴(kuò)散到本體溶液中去，而是聚集并與這些物質(zhì)形成黏液膜。在研究原云混酸溶液中鐵的化學(xué)拋光時(shí)，確認(rèn)了在鐵表面形成了組成為云藻的黏性液體膜。等用光反射法和失重法定量研究了紫銅在合液中的化學(xué)拋光，認(rèn)為銅與拋光液的反應(yīng)導(dǎo)致了金屬表面附近黏稠液體膜的形成，它可作為溶液本體和金屬表面的擴(kuò)散障礙層，并用黏液膜理論對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果作出了解釋。

 

化學(xué)拋光過(guò)程中若進(jìn)行輕微的攪拌，這對(duì)拋光會(huì)產(chǎn)生有利的影響。如進(jìn)行劇烈攪拌，則可能完全破壞拋光作用。這是因?yàn)檩p微攪動(dòng)有利于金屬溶解而形成黏液膜。劇烈攪拌時(shí)黏液膜被破壞，金屬表面失去了“保護(hù)層”來(lái)保護(hù)表面凹谷部分不受溶蝕，結(jié)果表面受到劇烈腐蝕而失去拋光效果。

 

由于金屬表面凹凸不平，凹谷部分障礙層不容易破壞，對(duì)表面起了保護(hù)作用。凸出部分障礙層容易破壞，不斷受到擴(kuò)散過(guò)來(lái)的過(guò)氧化氫的作用，其結(jié)果是凸起部分逐漸被整平，從而起到化學(xué)拋光效果。