超精密加工的關(guān)鍵是能夠在被加工表面上進(jìn)行微量加工，其加工量的大小標(biāo)志著精密加工和超精密加工的水平。

　　當(dāng)前，對(duì)于精密切削和超精密切削主要以金剛石刀具超精密車削和金剛石微粉砂輪超精密磨削為代表，主要是微量切削，又稱極薄切削，如果能切除一個(gè)納米(1mm)，則其切削水平可達(dá)納米級(jí)，如果能切除一個(gè)分子、一個(gè)原子，則其水平可達(dá)分子級(jí)、原子級(jí)。當(dāng)然，這需要超精密車床和超精密磨床，鋒利的刀具和砂輪，其中，金剛石刀具刃口鈍圓半徑值就非常重要，對(duì)于納米級(jí)切削，刃口鈍圓半徑應(yīng)為2nm，而金剛石徽粉砂輪的金剛石顆粒大小應(yīng)為0.5~2pm，甚至更小，并應(yīng)有高精度的在線砂輪修整裝置。

　　微量切削的機(jī)理與一般切削是有很大差別的，因?yàn)檫@時(shí)的切屑厚度極小，背吃刀量(切削深度)可能小于晶粒的大小，切削就在晶粒內(nèi)進(jìn)行，因此，切削不是在晶粒之間的破壞，切削力一定要超過晶體內(nèi)部非常大的原子、分子結(jié)合力，刀刃上所承受的切應(yīng)力就急速地增加并變得非常大。如在切削低碳鋼的情況下；刀刃上的切應(yīng)力值接近材料的抗剪強(qiáng)度極限，當(dāng)切削厚度在1um以下時(shí)， 被切材料的切應(yīng)力可達(dá)13000MPa。刀刃在受到很大應(yīng)力的同時(shí)， 切削區(qū)會(huì)產(chǎn)生很大的熱量，刀刃切削處的溫度會(huì)很高，要求刀具材料應(yīng)有很高的高溫強(qiáng)度和高溫硬度。因此，只有超硬刀具材料，如金剛石、立方氮化硼等才能勝任。金剛石刀具不僅有很高的高溫強(qiáng)度和高溫硬度，而且由于金剛石材料本身質(zhì)地細(xì)密，經(jīng)過精密研磨或精密電火花加工，不僅幾何形狀好，切削刃鈍圓半徑很小，通常可達(dá)0.02~0.005pm，最高可達(dá)2nm，而且表面粗糙度也很低，是極薄切削的刀具理想材料。