電化學拋光是一種陽極反應，它可視為電鍍過程的反過程。制件作為陽極置于特種電解液中(見圖員原，電流接通后，制件的表面將發生金屬的電化學溶解，在金屬晶格內的金屬原子會脫離晶格而移動到晶格外，并進一步離子化而形成金屬離子和放出電子。

形成水合離子

金屬離子可以和電拋光液中的水分子發生水合反應而形成水合配離子，并通過擴散和泳動而分散到本體電解液中。

形成配離子

在本體溶液中的配體或配位劑載會通過擴散或泳動而到達陽極界面并與金屬表面上的金屬離子形成各種形式的配離子，如[醞載]妞源，它也會通過擴散和泳動而分散到本體電解液中。

形成黏液膜或不溶性膜

當陽極上積聚了金屬離子，且表面上的配體量少于形成單一金屬離子的可溶性配離子時，此時就可能形成含多個金屬離子的多核配離子

，它常以聚合物鏈的形式出現，具有較高的黏度，因此被人們稱為黏液膜。若形成的醞載，形式的中性沉淀，則形成的膜稱為不溶性膜。黏液膜和不溶性膜只在金屬表面是穩定的，當它遇到由本體溶液擴散而至的配體載時，它可進一步被載配位而形成可溶性的單核配合物腳城，從而使膜層溶解。

當陽極電位較正時，陽極周圍的羥基離子也可在陽極上放電而析出氧氣。氧氣可使金屬氧化而形成氧化物膜。此外金屬離子也可與羥基離子直接反應而形成金屬氫氧化物或水合氧化物。