藍寶石表面不僅要求表面平滑性***,而且要求結晶無崎變,潔凈度高。因為結晶素亂易使晶膜錯位,使集成電路特性惡化。此外,還必須防止雜質混入加工層表面。
 

　　水燕氣介質溫度越高加工量越大。但有的拋光盤在拋光過程中,從拋光盤上拋光下的徽粉會粘到藍寶石工件上,使拋光加工量下降。如利用石英玻璃拋光盤時,水蒸氣與拋光盤中的i2徽粉反應會生成含水硅酸鹽化合物的粘連物,使加工表面有小劃痕。而使用低碳鋼和杉木拋光盤時,表面無粘連物,可獲得無劃痕的光滑表面。
 

　　水合拋光藍寶石時,水蒸氣的***佳溫度范圍為150~200℃,可獲得的加工表面粗糙度在目標以下。