超聲加工是利用工具端面作超聲振動,通過工具與工件之間的磨料懸浮液的作用而進行的一種加工,如圖6100所示。加工時,工具輕壓在工件上,在工具和工件之間加入磨料和水或煤油等液體的懸浮液,當超聲換能器產生頻率為1600H以上的超聲頻軸向振動時,通過變幅桿將振幅放大到005~0.1mm,驅動工具端面作軸向超聲振動,產生以下作用

　　(1)機械撞擊和拋磨作用工具端面作軸向超聲振動時,將撤擊工作液中懸浮的磨粒以很大的速度和加速度不斷地撞擊、拋磨被加工表面,使其材料產生裂紋破碎,被粉碎成很細的微粒而分離出來,由于是超聲頻振動,所以有相當的加工速度。

　　(2)空化作用當工具端面以很大的加速度離開工件表面時,加工間隙內形成負壓和局部真空,在工作液內形成許多微空腔(空泡),而當工具端面的超聲振動使它又以很大的加速度接近工件表面時,空泡被壓閉合,造成極強的液壓沖擊波,強化了加工過程

　　(3)液壓沖擊波的脹裂作用工作液受工具端面超聲振動,產生了高頻、交變的液壓正負沖擊波,促使工作液滲人被加工材料的微裂縫中,加劇了機械破壞作由此可見,超聲加工是磨料的機械撞擊和拋磨、空化和液壓沖擊等綜合作用,但以機械撞擊和拋磨作用為主。