離子束加工在微細(xì)加工和精密加工中是一種***有前途的原子、分子加工單位的加工方法。其特點(diǎn)可歸納如下

　　(1)加工精度和表面質(zhì)量高離子束加工是靠微觀力效應(yīng),被加工表面層不產(chǎn)生熱量,不引起機(jī)械應(yīng)力和損傷。離子束既直徑可達(dá)1m以內(nèi),加工精度可達(dá)mm級。

　　(2)加工材料廣泛可對各種材料進(jìn)行加工。由于加工原理是力效應(yīng),故對脆性、半導(dǎo)體、高分子等材料都可加工。由于加工是在真空下進(jìn)行,故離子注入適于加工易氧化的金屬、合金和半導(dǎo)體材料等。

　　(3)加工方法豐富離子束加工可進(jìn)行去除、鍍膜、注人等加工,利用這些加工原理出現(xiàn)了多種多樣的具體方法,如成形、刻蝕、減薄、曝光等,在集成電路制作中占有極其重要的地位。

　　(4)控制性能***,易于實(shí)現(xiàn)自動化

　　(5)金屬表面拋光機(jī)應(yīng)用范圍廣泛可根據(jù)加工要求選擇離子束的束斑直徑和能量密度,直徑小、能量密度大的離子束用于去除加工;直徑大、能量密度較低時適于鍍膜、刻蝕;而直徑大、能量強(qiáng)的離子束適于注入加工。