(1)微動工作臺的驅動形式

　　1)手動驅動機械式縮小方法如彈性機構。杠桿、楔塊、絲杠等,可采用手動驅動方法用于微調,微進給等,這些機構往往是一次性的調整或非自動控制的場合,特點是:成本低,操作簡便,但結構比較大。用于要求不高的機構

　　2)電動驅動利用各種物理方法產生的微位移,如壓電式、電致伸縮、電磁式等和部分機械式,采用電驅動方法。用于各種自動控制的場合。其特點是:分辨力高、精度高、成本

　　(2)微動工作臺的控制方式實現高精度的定位,要有高精度的檢測裝置,如激光干涉儀、光衢定位系統等,與微動工作臺組成閉環控制。目前,微機已很成熟,在要求較高的場合,均采用微機數字閉環控制。