實(shí)際結(jié)晶在表面上有很多晶格缺陷,從材料上去除表面原子所需能量比破壞材料原子結(jié)合所需的能量小,尤其是凸出部分易受沖擊而被去除;當(dāng)兩物質(zhì)相互摩擦?xí)r,兩物質(zhì)表面的結(jié)合能量分布出現(xiàn)重

疊,強(qiáng)度高的物質(zhì)表面原子被強(qiáng)度低的物質(zhì)表面原子沖擊而去除,實(shí)現(xiàn)用軟質(zhì)粒子來(lái)加工硬質(zhì)材料,而且工件材料也不會(huì)因塑性變形產(chǎn)生錯(cuò)位，工件***外層表面原子和研磨劑粒子***外層表面原子相互擴(kuò)散,降低了工件***外層表面原子的結(jié)合能量,被以后的磨粒粒子沖擊而去除。這種加工方法的加工效率隨拋光粒子向工件表面的沖擊頻率、沖擊速度、工件與拋光劑的表面原子結(jié)合能量分布和相互擴(kuò)散的難易程度、不純物原子侵入時(shí)工件***外層表面原子的結(jié)合能量的降低比例而異。例如可用極軟的石曼和溶于水的LF來(lái)拋光很硬的藍(lán)寶石。為了提高加工效率,可使用能起機(jī)械化學(xué)反應(yīng)的軟質(zhì)物質(zhì)作拋光劑。

　　用傳統(tǒng)方法以硬質(zhì)磨粒來(lái)拋光軟質(zhì)材料工件,雖然加工效率高,但難于避免工件材料的變形和破壞,但若選取直徑極小的硬質(zhì)粒子沖擊工件表面時(shí),如果設(shè)定加工條件無(wú)工件變形,只進(jìn)行去除***外層表面原子,也可使工件不產(chǎn)生錯(cuò)位。例如可使用公稱(chēng)直徑為0.007nm的SiO2超微粒子,進(jìn)行拋光軟質(zhì)Mn-Zn鐵寰體和LiNbO3等單晶工件而不產(chǎn)生錯(cuò)位和增殖。技術(shù)要點(diǎn)是使用超徽粒子避免大的粒子混入。