在超精密加工中,振動是一種十分有害的現象,它將嚴重影響被加工零件的表面質量和使用性能。在超精密加工中產生振動的振源有來自機床內部的振動(如驅動系統的振動)和來自機床外部的振動。目前減小振動影響的途徑主要有三個方面:提高機床的穩定性:消除或減少機床內的振動;減小外界振動的影響超精密機床要求高穩定的機床結構,即各部件尺寸穩定性***,剛度高、變形小、結構的抗振減振性能***。
 

　　(1)各部件的尺寸穩定性***
 

　　1)采用尺寸穩定性***的材料制造機床部件,如用陶瓷、花崗巖、尺寸穩定性***的鋼材合金鑄鐵等。
 

　　2)各部件經過消除應力、時效、冰冷處理、銌件緩慢冷卻等方法使部件有高度的尺寸穩定性。
 

　　1)當機床運動部件位置改變,工件裝卸或負載變化,受力作用變化等,均將造成變形要求結構剛度高、變形量極小,基本不影響加工精度。
 

　　2)各接觸面和連接面的接觸良***,接觸剛度高,變形極小。