電火花加工表面質量可包括表面粗糙度、表面變質層和表面層力學物理性質三方面。

　　(1)表面粗糙度電火花加工后的表面由無數無方向性的小凹坑和硬凸邊所組成,與機被加工后的表面不同,沒有切削或磨削所形成的方向性刀痕,便于保存潤滑油而有利于提高潤滑性和耐磨性。電火花加工粗糙度通常用微觀不平度的平均算術偏差R表示。

　　(2)表面變質層材料表面層在火花放電的瞬時高溫和工作液快速冷卻作用下發生了很大變化,其受影響部分可分為熔化凝固層和熱影響層。

　　熔化凝固層位于工件表面***上層,對于碳鋼來說,是一種樹枝狀的淬火鑄造組織,由馬氏體、殘余奧氏體和某些碳化物組成,與內層結合不太牢固,在金相照片上呈自色,故又稱白層,硬度高,厚度不超過0.1m。

　　熱影響層介于熔化凝固層與基體之間,未被熔化,但受高溫影響,其金相組織發生變化與基體無明確界限。對淬火鋼來說,熱影響層有再淬火區、高溫回火區和低溫回火區;對未淬火鋼來說,熱影響層主要為淬火區。

　　(3)表面層力學物理性質電火花加工后的表面層一般硬度較高,耐磨性較***,但存在微裂紋和殘余應力,影響耐疲勞性,應釆用回火、噴丸等處理。