影響超聲拋光表面粗糙度的因素主要有磨料粒度、被拋光材料、工具的振幅,工作液的成分和性能等,一般表面粗糙度為R1.6m,***高可達R0.04－0.lpmo磨粒尺寸小,工件材料硬度高、超聲振動振幅小,可得到較低的表面粗糙度值;用煤油或L-AN牌號的油與磨料混合的工作液可改善表面粗糙度,其影響比較復雜。超聲加工可得到比較***的表面層力學性質,表面不會產生燒傷等變質層,可提高表面硬度和疲勞強度。