事實(shí)證明，拋光是獲得超光滑表面的重要加工方法，而拋光的進(jìn)行主要借助于拋光液來(lái)完成，而拋光液的PH值對(duì)拋光效果有很大影響，當(dāng)拋光液的PH值過(guò)小時(shí)，溶液呈酸性狀態(tài)，一般拋光效果不太明顯；而當(dāng)溶液的PH值過(guò)大時(shí)，溶液呈堿性狀態(tài)，腐蝕的效果往往比酸性效果***。

    拋光液的化學(xué)拋光過(guò)程其實(shí)就是溶液對(duì)拋光元件表層的化學(xué)腐蝕作用，主要成分是二氧化硅，占整個(gè)比例的百分之七十，其余成分為堿金屬氧化物，當(dāng)拋光液為中性時(shí)，主要的化學(xué)作用表現(xiàn)為2InSb+6[O]→In2O3+Sb2O3，表面的拋光效果似乎不太明顯。

    當(dāng)拋光液的PH值為9.6時(shí)，拋光液的機(jī)械作用遠(yuǎn)大于化學(xué)作用，去除速率比較大，導(dǎo)致拋光后拋光片表面產(chǎn)生高損傷層，粗糙度比較大；當(dāng)拋光液的pH值增大為10.84～11.34時(shí)，機(jī)械作用和化學(xué)作用達(dá)到一種對(duì)等狀態(tài)時(shí)，此時(shí)化學(xué)作用的均勻性***，使得表面張力小，質(zhì)量處理的一致性***，可以得到良***的表面拋光效果；當(dāng)pH值大于11.67時(shí)，SiO2水溶膠在強(qiáng)堿的作用下，生成易溶于水的硅酸氨，使得硅溶膠中的SiO2顆粒不能起到磨削作用，變成透明的液體，此時(shí)機(jī)械作用基本失效，拋光以化學(xué)作用為主，表面蝕坑增多，使得表面粗糙度重新增加。

    拋光液PH值是拋光元件表面粗糙度的重要影響因素，他是拋光元件化學(xué)拋光的重要組成部分。事實(shí)證明，當(dāng)拋光壓力、溫度等外界因素相匹配時(shí)，拋光時(shí)的***佳PH值應(yīng)控制在11.25左右，這時(shí)候化學(xué)拋光和機(jī)械拋光的作用相平衡，拋光效果***佳！