電子束加工裝量主要由電子槍系統、真空系統、控制系統和電源系統等組成,如圖67所示。

　　電子槍用來發射高速電子流,它是在真空條件下,利用電流加熱陰極1發射電子束,經控制柵極2初步聚焦后,由加速陽極3加速。陰極可用純鎢、鎢鉭、硼化等材料制成。控制柵極為中間有孔的圓筒,在其上加比陰極較負的偏壓,起束流強度控制和初步聚焦作用。在加速陽極上加比陰極為正的高壓,起吸引和加速電子流的作用。

　　真空系統是抽真空,真空度為133×(10-2~104)Pa,因為在真空中電子才能高速運動,發射陰極不會在高溫下被氧化,同時也防止被加工表面和金屬燕氣氧化。為了消除加工時金屬蒸氣對電子發射不穩定的影響,電子束加工多采用開式真空系統,即不斷地抽出加工中產生的金屬蒸氣。

　　控制系統由聚焦裝置、偏轉裝量和工作臺位移裝置等組成,控制電子束束斑大小、方向和工件位移。

　　電源系統提供穩壓電源、各種控制電壓及加速電壓。