1、向高精度、高效率方向發(fā)展
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)精度、效率、質(zhì)量的要求愈來(lái)愈高，超精密加工技術(shù)就是要向加工精度的極限沖刺，應(yīng)該說(shuō)，這種極限是無(wú)限的，當(dāng)前的目標(biāo)是向納米級(jí)進(jìn)軍，而現(xiàn)狀是處于亞徽米級(jí)水平。
圖中表示了超精密加工理論基礎(chǔ)和應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，提出了量子技術(shù)、量子能量的利用，并將和太空技術(shù)聯(lián)系起來(lái)。
2、向大型化、微型化方向發(fā)展
由于航天航空等技術(shù)的發(fā)展，大型光電子器件要求大型超精密加工設(shè)備，如美國(guó)研制的加工直徑為2.4~4m的大型光學(xué)器件超精密加工機(jī)床。
由于微型機(jī)械、集成電路的發(fā)展，超精密加工技術(shù)向微型化發(fā)展，如微型傳感器，微型驅(qū)
圖中是利用微細(xì)加工技術(shù)制作的微型機(jī)械及零件，其中圖a為一對(duì)帶輪，直徑為1mm，圖b為電機(jī)，其轉(zhuǎn)子直徑約為192pm，圖c為梳形執(zhí)行元件，圖d為一個(gè)齒輪，直徑為124pm。
3、向加工檢測(cè)一體化發(fā)展
由于超精密加工的精度很高，必須發(fā)展相應(yīng)的檢測(cè)技術(shù)才能適應(yīng)其要求；同時(shí)，采用加工和檢測(cè)獨(dú)立進(jìn)行的方法可能由于安裝等誤差而不能實(shí)現(xiàn)，因此，要采用在位檢測(cè)方法，使加工檢測(cè)一體化。
4、在線檢測(cè)與誤差補(bǔ)償
超精密加工的精度很高、影響因素多且復(fù)雜，進(jìn)行在線檢測(cè)、工況監(jiān)控以確保加工質(zhì)量及其穩(wěn)定性是十分必要的。由于超精密加工的精度很高，加工設(shè)備本身的精度有時(shí)很難滿足要求，就要采用在線檢測(cè)和誤差補(bǔ)償?shù)姆椒▉?lái)提高精度，保證加工質(zhì)量的要求。
5、新型超精密加工方法的機(jī)理
加工機(jī)理的研究是新技術(shù)的生長(zhǎng)點(diǎn)，超精密加工機(jī)理涉及微觀世界和物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)，所利用的能源包括機(jī)、光，電、聲、熱、化、磁、原子等，十分廣泛。不僅可以采用分離去除加工，而且可以采用分層堆積加工方法；既可采取單獨(dú)加工方法，更可采用復(fù)合加工方法。加工機(jī)理的研究往往具有突被性。
6、新材料的研究
新材料包括新的工具材料（切削、磨削）和被加工材料。精密加工和超精密加工的被加工材料對(duì)其加工質(zhì)量的影響極大，其化學(xué)萬(wàn)分、力學(xué)機(jī)械性能均有嚴(yán)格要求，還需要研究。
當(dāng)前，精密加工和超精密加工在我國(guó)急需要研究的是實(shí)用化。將一些成熟或比較成熟的精密加工和超精密加工技術(shù)推廣到實(shí)際中云，以提高加工技術(shù)的水平，使生產(chǎn)的機(jī)械產(chǎn)品質(zhì)量更好、生產(chǎn)率更高。
