超精密加工所能達到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范圍和幾何形狀是一個**制造技術水平的重要標志之一。例如：金剛石刀具切削刃鈍圓半徑的大小是金剛石刀具超精密切削的一個關鍵技術參數，日本聲稱已達到2nm，而我國尚處于亞徽米水平，相差一個數量級；又如金剛石微粉砂輪超精密磨削在日本已用于生產，使制造水平有了大幅度提高，突出地解決了超精密磨削磨料加工效率低的問題。