加工工具主要是指刀具、磨具及刃磨、修整裝置。

　　對于超精密切削，***先是超硬刀具問題，目前的超硬刀具材料主要有金剛石、立方氮化硼、陶瓷等，用得比較廣泛的是人造金剛石，即聚晶金剛石。******的材料是天然金剛石，但價格昂貴。金剛石刀具有切削刃形面和幾何角度設計、晶體定向、晶面選擇、刃磨、切削時對刀等問題，其中如刃磨應在專門的研磨機上進行，要有高超的技藝，刃口鈍圓半徑是一個關鍵參數，若極薄切削厚度欲達10nm，則刃口鈍圓半徑應為2nm；切削時精確方便地對刀將直接影響加工精度、表面粗糙度和加工效率，至今是一個難題。對于超精密磨削，當前主要的磨具是金剛石、立方氮化硼等微粉砂輪，這種砂輪有磨料粒度選擇、粘接劑選擇、修整方法等問題，通常金剛石微粉砂輪多采用粒度為W20~W0.5的金剛石微粉，采用樹脂、鋼、纖維鑄鐵等粘結劑，以鋼為粘結劑居多。金剛石砂輪的修整分為整形和修銳兩個階段，前者是修出幾何形狀，后者是修出鋒利刃口，實際上是突出金剛石顆粒。由于金剛石徽粉砂輪易堵塞，在使用中應采用在線修整。常用的修整方法有電解法、電火花法、磨削法和軟彈性法等。

　　對于超精密研磨和拋光，可采用鑄鐵、錫、聚酯、呢氈等材料作研具或拋光器，采用金剛石、立方氨化硼、鋯剛玉、鉻剛玉、氧化鋁、碳化硅等磨料，進行非接觸研磨拋光、軟質粒子研磨拋光、液中研磨拋光等，獲得高精度和低表面粗糙度。

　　刀具、磨具材料的選擇是一個關鍵，刀具磨具的發展史基本上可用刀具磨具材料的發展來代表，從碳鋼、合金鋼(高速鋼)、硬質合金、陶瓷、立方氮化硼到金剛石，以及采用多元共滲、鍍膜、沉積等技術、提高了耐用度，超硬材料的出現給精密加工和超精密加工的發展提供了條件。目前，由于金剛石是由碳原子組成，與鐵碳構成的黑色金屬有較大的親和力，故不宜切削黑色金屬，多用于切削有色金屬，現正在研究利用保護氣氛、低溫等措施來切削黑色金屬，或用立方氮化硼、陶瓷等材料。