制造技術(shù)的發(fā)展已有幾千年的歷史，從石器時(shí)代、銅器時(shí)代、鐵器時(shí)代到現(xiàn)代的高分子塑料時(shí)代；從手工制作、機(jī)器制作到現(xiàn)代的智能控制自動(dòng)化制作；同時(shí)，從一般精度加工、精密加工到超精密加工，現(xiàn)在已達(dá)到廣為流傳的納米加工境界，并逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的極限，代表了當(dāng)前先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。因此，精密加工和超精密加工代表了加工精度發(fā)展的不同階段，由于生產(chǎn)制造技術(shù)的不斷發(fā)展，劃分的界限將隨著歷史進(jìn)程而逐漸向前推移，過(guò)去的精密加工對(duì)今天來(lái)說(shuō)已是一般加工，其劃分的界限是相對(duì)的，并且在具體的精度數(shù)值上至今沒(méi)有確切的定義。
當(dāng)前，精密加工是指加工精度為1~0.1pm、表面粗糙度為R，0.1~0.01pm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工誤差小于0.1jm，表面粗糙度小于R.0.025pm的加工技術(shù)，又稱(chēng)之為亞微米級(jí)加工。但是，目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)，并稱(chēng)之為納米加工及相應(yīng)的納米技術(shù)。
從精密加工和超精密加工的范疇來(lái)看，它應(yīng)該包括徽細(xì)加工和超微細(xì)加工、光整加工和精整加工等加工技術(shù)。
微細(xì)加工和超微細(xì)加工技術(shù)是指制造微小尺寸零件的加工技術(shù)，它們是針對(duì)集成電路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切屑的大小來(lái)表示的，而不是像一般尺寸那樣，用所加工尺寸與尺寸誤差的值來(lái)表示。
光整加工技術(shù)，一般是指降低表面粗糙度值和提高表面層力學(xué)及機(jī)械性質(zhì)的加工方法，不強(qiáng)調(diào)加工精度的提高。近年來(lái)，提出了相對(duì)應(yīng)的精整加工概念，強(qiáng)調(diào)了精度和表面質(zhì)量?jī)蓚€(gè)方面。但從光整加工和精整加工的概念上來(lái)說(shuō)，含有毛刺加工方面。
